氯化氫氣體需要降低潛在的氯化氫氣體泄漏風險，氯化氫氣體到達需求企業車間后的安全操作規范也很重要：在安裝氯化氫氣體管件時，施工原則應盡可能連續，無接頭，這樣可以減少使用的接頭數量，減少氯化氫氣體泄漏的潛在風險。管件之間的連接最好采用軌道焊連接。不銹鋼焊接應采用氬弧焊，焊管內應通入相同純度的氬氣，以保證連接質量。并防止因焊接不當造成管件內壁積碳，造成氯化氫氣體管件污染。管件與各種管件之間的連接必須采用金屬面對金屬面密封（金屬到金屬面密封）。一般晶圓廠常用的氯化氫氣體管道連接接頭有兩種：VCR和Swagelok。具體選用形式應根據生產工藝對高純氯化氫氣體的用氣要求和氯化氫氣體本身的特點來選擇。
    一般情況下，VCR型接頭主要用于工藝過程中輸送氯化氫氣體和危險氣體。管道連接后，接頭內的墊片（Gasket）會適當變形，以確保管道每秒小于10-9cc的氦氣。泄漏率。但在接合過程中，要避免因接頭變形過大導致不銹鋼墊圈變形過大，造成接頭不良或漏氣。世偉洛克
    接頭通常用于惰性氣體、氮氣、CDA等氣體的輸送。由于這些氣體可以承受一定的泄漏率，所以昂貴且必須焊接的VCR接頭并不常用。一般來說，管件的安裝原則是盡可能減少管件的長度、接頭和閥門的數量，因為危險氣體的泄漏大多發生在構造不當的接頭和閥門的連接處。因此，嚴防泄漏也是氯化氫需求企業關注的重點。